靶材应用:
溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。
众昌金属可为用户专业生产加工各种规格溅射靶材,纯度高、均匀致密,具有优良导热性,从而保证靶材的高效率和高利用率。
靶材分类:
根据形状可分为:方靶、圆靶、异型靶
靶材的主要性能要求
◆纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”、8“发展到12”,而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
◆杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
我公司钨钼制品具有熔点高、强度大、寿命长、耐高温性能好等特点,广泛应用于热场、真空镀膜、太阳能、蓝宝石晶体、光电子、半导体、特种陶瓷、光源照明、机械部件、玻璃制造、玻璃纤维,耐火纤维,稀土冶金、工业窑炉等诸多领域。
玻璃纤维炉用加热电极材料:钼板电极, 钼螺栓, 钼弯条;
硅酸铝纤维炉、玻璃电熔窑炉用加热电极材料:钨合金棒电极, 钼棒电极, 钼流口, 钨板, 钼板, 钨捅针, 钼捅针;
CTX射线管和旋转阳极X射线管:钼基钨靶;
稀土冶金行业:钨棒, 钨坩埚, 钼坩埚;
中、高压开关管电触头材料:铜钨合金, 碳化钨铜;
真空炉、蓝宝石晶体生长炉加热室:钨坩埚, 钼坩埚, 钨隔热屏, 钼隔热屏, 钨零件, 钼零件;
钛、锆及其合金材料:钛板, 钛棒, 钛管, 钛丝, 锆板, 锆棒, 锆管, 锆丝等钛锆金属材料;
钛、锆金属制品:钛设备, 钛锻件、铸件, 锆设备, 锆锻件、铸件;
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